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반도체 소재 부품 사업CVD SIC 제작 장비
자체 설계 및 제작
플라즈마 진공 고주파 융해로 장비,
진공 단열재 제작 장비
셀레늄 성막 CVD 코팅 장비,
EUV 펠리클용 LPCVD 코팅 장비 등
137평
설비제작_135평
반도체 소재_3,800평

진공 용해로 VIM

LP-CVD 코팅 설비

CVD-SIC bulk 설비