CVD - SIC 물질 특성
고객 요구 조건(증착층의 조성, 형상, 결정구조 및 방향성 등)의 양질의 소재 공급 가능
| 구분 |
Unit |
NST Value |
| Purify |
% |
>99.9999 |
| Densify |
g/cm 3 |
3.21 |
| Thermal conductivity |
W/m-K |
273.0 |
| Coefficient of thermal expansion |
E^-6/℃ |
4.1 |
| Vickers Hardness |
GPa |
29 ~ 30 |
| Flexural Strength |
Mpa |
391 |
| Volume Resistivity |
Ωcm |
<1 ~ >500 |
